NF EN 62047-21

NF EN 62047-21

décembre 2014
Norme En vigueur

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 21 : méthode d'essai relative au coefficient de Poisson des matériaux MEMS en couche mince

Le présent document spécifie la détermination du coefficient de Poisson à partir des résultats obtenus par l'application d'essais de charges uniaxiales et biaxiales aux matériaux pour systèmes microélectromécaniques (MEMS, Micro-Electrical-Mechanical Systems) à couche mince dont les longueurs et les largeurs sont inférieures à 10 mm et les épaisseurs sont inférieures à 10 mu m.

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de publication

décembre 2014

Nombre de pages

17 p.

Référence

NF EN 62047-21

Codes ICS

31.080.99   Autres dispositifs à semi-conducteurs

Indice de classement

C96-050-21

Numéro de tirage

1

Parenté internationale

IEC 62047-21:2014

Parenté européenne

EN 62047-21:2014
Résumé
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 21 : méthode d'essai relative au coefficient de Poisson des matériaux MEMS en couche mince

Le présent document spécifie la détermination du coefficient de Poisson à partir des résultats obtenus par l'application d'essais de charges uniaxiales et biaxiales aux matériaux pour systèmes microélectromécaniques (MEMS, Micro-Electrical-Mechanical Systems) à couche mince dont les longueurs et les largeurs sont inférieures à 10 mm et les épaisseurs sont inférieures à 10 mu m.
Sommaire
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  • AVANT-PROPOS
    2
  • 1 Domaine d'application
    4
  • 2 Références normatives
    4
  • 3 Termes, définitions, symboles et désignations
    4
  • 4 Eprouvette d'essai
    6
  • 5 Méthode et appareillage d'essai
    6
  • 6 Rapport d'essai
    8
  • Annexe A (informative) Exemple de mesure du coefficient de Poisson utilisant une éprouvette d'essai de type 1
    9
  • Annexe B (informative) Analyse des résultats d'essai obtenus par une éprouvette d'essai de type 2
    11
  • Annexe ZA (normative) Références normatives à d'autres publications internationales avec les publications européennes correspondantes
    13
  • Bibliographie
    14
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