IEC 62047-21:2014

juin 2014

Norme internationale En vigueur

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 21 : méthode d'essai relative au coefficient de Poisson des matériaux MEMS en couche mince

Informations générales

Normes internationales IEC

juin 2014

26 p.

IEC 62047-21:2014

31.080.99 Autres dispositifs à semi-conducteurs

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