NF EN 62047-1

NF EN 62047-1

septembre 2006
Norme Annulée

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 1 : termes et définitions

Le présent document définit des termes pour les dispositifs microélectromécaniques en incluant le processus de production de ces dispositifs.

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de publication

septembre 2006

Nombre de pages

26 p.

Référence

NF EN 62047-1

Codes ICS

01.040.31   Électronique (Vocabulaires)
31.080.99   Autres dispositifs à semi-conducteurs

Indice de classement

C96-050-1

Numéro de tirage

1 - 28/09/2006

Parenté internationale

IEC 62047-1:2005

Parenté européenne

EN 62047-1:2006
Résumé
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 1 : termes et définitions

Le présent document définit des termes pour les dispositifs microélectromécaniques en incluant le processus de production de ces dispositifs.
Norme remplacée par (1)
NF EN 62047-1
novembre 2016
Norme En vigueur
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 1 : termes et définitions

Le présent document définit des termes pour les dispositifs microélectromécaniques en incluant le procédé de production de ces dispositifs.

Sommaire
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  • AVANT-PROPOS
    2
  • 1
    Domaine d'application 4
  • 2
    Termes et définitions 4
  • 2.1
    Termes généraux 4
  • 2.2
    Termes relatifs à la science et à la technique 5
  • 2.3
    Termes relatifs à la science des matériaux 6
  • 2.4
    Termes relatifs aux éléments fonctionnels 7
  • 2.5
    Termes relatifs aux techniques d'usinage 12
  • 2.6
    Termes relatifs aux technologies de collage et d'assemblage 18
  • 2.7
    Termes relatifs aux technologies d'évaluation 20
  • 2.8
    Termes relatifs aux technologies d'application 21
  • Annexe A (informative) Points de vue et critères pris en compte lors de la rédaction de ce glossaire
    24
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