NF EN 62047-1
NF EN 62047-1

NF EN 62047-1

novembre 2016
Norme En vigueur

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 1 : termes et définitions

Le présent document définit des termes pour les dispositifs microélectromécaniques en incluant le procédé de production de ces dispositifs.

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de parution

novembre 2016

Nombre de pages

38 p.

Référence

NF EN 62047-1

Codes ICS

31.080.99   Autres dispositifs à semi-conducteurs

Indice de classement

C96-050-1

Numéro de tirage

1
Résumé
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 1 : termes et définitions

Le présent document définit des termes pour les dispositifs microélectromécaniques en incluant le procédé de production de ces dispositifs.
Normes remplacées (1)
NF EN 62047-1
NF EN 62047-1
septembre 2006
Norme Annulée
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 1 : termes et définitions

Le présent document définit des termes pour les dispositifs microélectromécaniques en incluant le processus de production de ces dispositifs.

Sommaire
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  • 1 Domaine d'application
  • 2 Termes et définitions
  • Annexe A (informative)Points de vue et critères pris en compte lors de la rédaction du présent glossaire
  • Annexe B (informative)Références croisées des articles de la IEC 62047-1:2005 et de la IEC 62047-1:2015
  • Bibliographie Bibliographie
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