NF EN 62047-1

NF EN 62047-1

September 2006
Standard Cancelled

Semiconductor devices - Micro- electromechanical devices - Part 1 : terms and definitions

Le présent document définit des termes pour les dispositifs microélectromécaniques en incluant le processus de production de ces dispositifs.

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Main informations

Collections

National standards and national normative documents

Publication date

September 2006

Number of pages

26 p.

Reference

NF EN 62047-1

ICS Codes

01.040.31   Electronics (Vocabularies)
31.080.99   Other semiconductor devices

Classification index

C96-050-1

Print number

1 - 28/09/2006

International kinship

IEC 62047-1:2005

European kinship

EN 62047-1:2006
Sumary
Semiconductor devices - Micro- electromechanical devices - Part 1 : terms and definitions

Le présent document définit des termes pour les dispositifs microélectromécaniques en incluant le processus de production de ces dispositifs.
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November 2016
Standard Current
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1 : terms and definitions

Le présent document définit des termes pour les dispositifs microélectromécaniques en incluant le procédé de production de ces dispositifs.

Table of contents
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  • AVANT-PROPOS
    2
  • 1
    Domaine d'application 4
  • 2
    Termes et définitions 4
  • 2.1
    Termes généraux 4
  • 2.2
    Termes relatifs à la science et à la technique 5
  • 2.3
    Termes relatifs à la science des matériaux 6
  • 2.4
    Termes relatifs aux éléments fonctionnels 7
  • 2.5
    Termes relatifs aux techniques d'usinage 12
  • 2.6
    Termes relatifs aux technologies de collage et d'assemblage 18
  • 2.7
    Termes relatifs aux technologies d'évaluation 20
  • 2.8
    Termes relatifs aux technologies d'application 21
  • Annexe A (informative) Points de vue et critères pris en compte lors de la rédaction de ce glossaire
    24
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